Столы XY перемещения с плавающим позиционирующим элементом имеют встроенную систему измерения перемещения по замкнутому контуру. Отсутствие датчиков перемещения исключает помехи для рабочих магнитных полей. Удержание подвижной части (планара) над столом происходит за счет воздушной подушки, воздух подводится через шланг под давлением 3-4 бара (2,96-3,95 атмосферы). Размеры статора до 1000х1000 кв.мм.